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更新時間：2026-09-16 
瀏覽次數：69## 1. 密閉腔體與真空 / 氣氛置換
爐管（石英 / 剛玉管）兩端采用**KF 高真空法蘭 + 氟橡膠密封圈**密封，形成密閉反應腔體。
- **高真空模式**：真空泵組抽取爐管內部空氣，移除氧氣、水汽等氣體，實現高真空環境；
- **真空置換氣氛模式**：多次執行「抽真空→充入高純氮氣 / 氬氣」循環，大程度降低管內殘余氧含量，維持微正壓惰性氣氛，隔絕氧氣，防止樣品氧化。
## 2. 電阻輻射加熱
加熱元件（電阻絲 / 硅碳棒 / 硅鉬棒）通電產生焦耳熱，以**熱輻射**的方式加熱爐管；爐膛的陶瓷纖維保溫層鎖住熱量，在爐管內部形成一段穩定、溫度均勻的恒溫區。
## 3. 閉環溫度自動控制
熱電偶實時采集爐內溫度，將溫度信號傳輸至可編程 PID 溫控儀；溫控儀對比設定溫度與實測溫度，自動調節加熱輸出功率，按照預設程序完成**升溫、保溫、可控降溫**，精準控制整個熱處理工藝。
## 4. 樣品熱處理過程
樣品放置在爐管恒溫區內，在高真空或者高純惰性氣氛的低氧環境下，在設定高溫下完成燒結、退火、晶化、固相反應、CVD 薄膜生長；全程隔絕氧氣，避免樣品氧化、脫碳、引入雜質，實現材料微觀結構與性能調控。
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